真空 ポンプ ulvac 真空 ポンプ ulvac

・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。 排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。

真空ポンプ停止後速やかに真空側を大気圧に戻してください。 ・持ち運びが便利、装置組込みに適したコンパクトサイズ。
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CAD : 0 ダイアフラム(隔膜)の移動により気体を輸送する形式の真空ポンプ。 【特長】 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。 ・オイルフィルトレーションシステムに接続可能。

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CAD : 0 スタンダードな回転翼型(ゲーテ型)真空ポンプ。 【用途】 ・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。
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・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。

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・ラベリングマシン、脱泡機、吸引機、医療用機器、ガス分析機等に最適。
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・大気圧から作動が可能。

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CAD : 0 逆流防止機能付、接ガス部面に表面処理を施した耐食性油回転真空ポンプ。
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用途別油を使用する 交換周期目安表 オイルカタログ ポンプ回り(例、配管)に漏れはないか 漏れを止める 油量を入れ過ぎていないか 規定量水準まで減らす ベアリングのグリースがたれてくる チェック項目 処置方法 ULVAC推奨オプション 冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け 高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。 ・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。 ・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。

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・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
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高い圧力で連続運転を行わないでください。 ・低騒音で低振動。

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・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空)。
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【特長】 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。 ・シンプル構造で、メンテナンスが容易。 ・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。

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・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。